对治理工业废气中大量存在的有机化合物，应用较普遍的活性炭、活性炭纤维、纯硅分子筛以及催化燃烧法等，虽有一定效果，但不仅存在耗用大量吸附材料或燃料，还存在工艺落后、成本高、二次污染较严重等问题，特别是对于大流量、低浓度的有机废气，更是存在不少未能解决的问题。实际上，采用这些技术方案后，往往给政府环保部门的监管，以及产生和治理污染的企业的运行，都会带来很大的困扰。
一、吸附脱附处理
活性炭对于某些特定VOCs因子具有良好的吸附作用，且可脱附再生，虽然存在实际运行费用较高，二次处理麻烦，效果难于随时监控等问题，但仍在有机废气的传统处理工艺上，占有重要地位。
二、催化燃烧
废气中VOC浓度一般均在2000mg/m³以下时，且不稳定，燃烧时需要补充消耗大量能源，这不仅增加运行成本，也与节能降耗的环境治理目标相去甚远。采用“催化燃烧法”不仅会大大增加大气中CO2的排放量，特别是还有部分废气因子燃烧后会产生剧毒的二恶英等二次污染。因此，催化燃烧的方式对于某些有机废气治理也并不适用。实际上，采用催化燃烧方式也会使管道工程量变得很大。
三、低温等离子体处理
等离子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。 适用范围广，净化效率高，尤其适用于其它方法难以处理的多组分恶臭气体，如化工、医药等行业。 占地面积小，电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用；运行费用低；反应快、停止十分迅速，随用随开。不足之处是一次性投资稍高。
